AZ jest ośmiostrefowym piecem rurowym do kontroli profili temperatury. Strefy te można wykorzystać do generowania profili temperaturowych wzdłuż ogrzanej długości pieca. Dzięki ośmiu strefom, grubej izolacji i wysoce symetrycznemu uzwojeniu elementów grzejnych w całym piecu AZ uzyskuje się jednorodność lepszą niż ± 5 ° C. Kluczową zaletą ośmiu indywidualnie sterowanych stref jest przedłużenie jednorodnej długości grzania wewnątrz pieca. Dodatkowo profil temperatury może być precyzyjnie kontrolowany dla liniowych wzrostów, pików lub innych profili zdefiniowanych przez użytkownika. Jednym z procesów odpowiednich dla pieca rurowego AZ jest chemiczne osadzanie z fazy gazowej, ponieważ w piecu można ustalić gradient temperatury w celu odparowania materiału prekursorowego w strefie końcowej wysokiej temperatury i sublimacji pary na podłożu w strefie końcowej o niższej temperaturze. Wszystkie strefy są indywidualnie kontrolowane i monitorowane za pomocą termopar.
Zobacz wnętrze