Pompa turbomolekularna do pieców rurowych
Pompa turbomolekularna składa się ze stojanów umieszczonych pomiędzy kilkoma wirnikami o dużej prędkości. Prędkość obrotowa wynosi około 90 000 obrotów na minutę. Przy tych prędkościach wirnik znajduje się w zakresie prędkości cząstek umożliwiających przepychanie gazu przez pompę. W połączeniu z pompą próżni wstępnej, osiągalny poziom próżni mieści się w zakresie wysokiej próżni lub lepszym.
Pompy turbomolekularne są najwygodniejszymi i najczęściej używanymi pompami do pracy w warunkach wysokiej i bardzo wysokiej próżni. Osiągana jest bardzo wysoka czystość atmosfery w komorze pieca, ponieważ pompa z łatwością usuwa ciężkie, powolne cząstki, takie jak węglowodory.
Pompa turbo firmy Carbolite Gero składa się z pompy próżniowej, pakietu gazu obojętnego, wakuometru, zaworu próżniowego, obejścia do szybkiego oczyszczania, zaworu wylotowego gazu i nadciśnieniowego zaworu bezpieczeństwa. W zimnym, czystym, suchym i pustym piecu opcja pompy turbo osiąga 5 x 10-5 mbar.
